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微納幾何結構標準物質

 

 

 

 

 

1.用于膜厚儀的校準:

 

 

標準樣品/物質厚度:20、70、160、4001000 nm

 

 

 

2.用于臺階儀、輪廓儀校準:

 

 

 

高度:50、100、200、5001000 nm

 

 

 

3.用于電鏡、AFM等的校準:

 

 

周期構:400、1000 2000 nm

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